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² 制作类型：无隔板超高效过滤器、有隔板超高效过滤器、组合式大风量超过高效过滤器、耐高温超高效过滤器等；
² 滤 料：U15-U17美国HV玻纤滤纸；
² 过滤效率：U15-U17，U15：99.9995%@0.12μm、U16:99.99995%@0.12μm、U17:99.999995%@0.12μm（MPPS）；
² 框 材：铝型材框、铝板折框、镀锌框、不锈钢框；
² 护网材质：喷塑菱形网；
² 密封胶条：EVA、氯丁橡胶；
² 过滤尺寸：依据客户实际要求制定，铝型材参考厚度：46mm、50mm、69mm、80mm、90mm、96mm（MMPS）;
n 适用场合：超高效过滤器U15-U17超高效过滤器U15-U17
适用于超LSI制造工厂、半导体制造工厂、原子力研究中心、无尘室、层流设备、工作台等其他要求超高洁净度的场合。
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型号 |
箱体外形尺寸 (W×H×D) (mm) |
额定风量 (m3/h) |
过滤面积(m2) |
容尘量 (g) |
初阻力 (Pa) |
终阻力 （Pa） |
过滤效率0.12μm |
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GXAIR-MHF-001 |
484×484×50 |
350 |
4.28 |
250 |
≤150 |
400 |
≥99.9995% U15-U17 |
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GXAIR-MHF-002 |
610×610×50 |
600 |
6.84 |
410 |
≤150 |
400 |
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GXAIR-MHF-003 |
915×610×50 |
900 |
10.29 |
600 |
≤150 |
400 |
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GXAIR-MHF-004 |
1220×610×50 |
1200 |
13.74 |
800 |
≤150 |
400 |
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GXAIR-MHF-005 |
484×484×69 |
600 |
6.58 |
400 |
≤150 |
400 |
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GXAIR-MHF-006 |
610×610×69 |
1000 |
10.48 |
600 |
≤150 |
400 |
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GXAIR-MHF-007 |
915×610×69 |
1400 |
15.78 |
950 |
≤150 |
400 |
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GXAIR-MHF-008 |
1220×610×69 |
1800 |
21.08 |
1250 |
≤150 |
400 |
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GXAIR-MHF-009 |
610×610×96 |
1600 |
17.88 |
1050 |
≤150 |
400 |
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GXAIR-MHF-010 |
915×610×96 |
2400 |
26.99 |
1600 |
≤150 |
400 |
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GXAIR-MHF-011 |
1220×610×96 |
3200 |
36.12 |
2100 |
≤150 |
400 |